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FFU的应用 苏州永泰一净化

发布时间:2020-07-20 16:40:48来源:51招商网

FFU (Fan Filter Unit) ,是一个自带送风机(无壳风机)的高效过滤器送风口,它与其专用龙骨系统(Ceiling Grid) 、冷却盘管(一般为干盘管)。加压风机、新风系统以及专用灯具共同组成了FFU系统。FFU的使用方式是新风有新风空调机处理至所器状态点后送入,在静压箱内与回风混合后经FFU的风机加压后经HEPA或ULPA送入室内,再经架空地板或侧墙回至F盘管,在此经冷(热)处理后经由回压机送回至静压箱完成循环。这样的系统*为常用于有超静要求的洁净室,如大型集成电路晶圆的制造。尖瑞显示器如TFT、PDP等的制造、硬盘的制造等。其优点如下:

因洁净室的壁板都以天花板格子的模数(如1 200*600)来布置.并且由于其特殊的节点构治

2、出风均匀稳定

3.节能显著

4、节省空间

5、风口、 灯具、烟感、喷淋、静电中和暑等的合理布局

6.负压密封

FFU系统也有缺点:风机数量大,故障机率大。且因FFU布置在吊顶上,维修有一定困难。而集中风系统因设备较为集中,数量也少,易于维护。但这也不完全是缺点: FFU系统正是因为数量众多面分散,通常少量的FFU出现故障。并不能对洁净度造成严重的破坏。甚至可以在对洁净度几乎没有影响的情况下发现并修复故障单元。而集中送风系统只婴-一台AHU出现故障,就会造成大面积的法净室停止运行,对生产的影响很大。在几乎所有的项目中,冷陈机.空压机。纯水设备。水泵。真空泵抢救无效都可以做到备份,尽量减少设备故障对生活的影响。唯独空调箱的备份几乎没用。FFU系统则在某种程度上达到了这个目的。



洁净室(无尘室)标准

洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。

洁净室*主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「法净室」。

世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。

美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英职为单位。日本则是采用公制。即以每立方公尺为单位。以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1, Class 2, Class ..... .Class8表示,*好的等级为Cass 1,*差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。

1.能除去空气中飘游之微尘粒子。

3.温度和湿度之控制。

5.有害气体之接除。

7.静电之防制。

9.安全因素之考虑。

(四)沽净室之分类

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级100-00.000级

缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。

层流式空气气流运动成-均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,- -般其洁净室等级为Class 1~100. 其型

(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,- -般在下流侧污染较严重。

缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。

优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。

3.复合式(Mixed Type):

(I)法净隧道(Clean Tune):以HEPA或ULPa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI 制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点: A.弹性扩充容易: B.维修设 备时可在维修区轻易执行。

(3)并装局部洁净室(Clean Spot): 将洁净室等级1000-100.0000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000 级以上,以为生产之用:洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10-1000级,高度在2.5米左右,覆盖面

(五)洁净室气流之流动

洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99-999%之9多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃-一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延者壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。

影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。

当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。

是否成为涡流现象之重要因素。

洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成完整且品质良好的洁净室:

(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。

(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。

洁净室之建筑主体构造,- 一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:

B.不易产生微尘粒子,且很难附若粒子:

D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高



  

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文章来源:http://js.51zhaoshang.cn/rdxw/33701

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